Micro-discharge plasma using silicon platform - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Micro-discharge plasma using silicon platform

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-00707922

Soumis le : mercredi 13 juin 2012-20:57:06

Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:26:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00707922 , version 1 (13-06-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00707922 , version 1

Citer

Mukesh Kulsreshath, Thierry Dufour, Philippe Lefaucheux, Olivier Aubry, Sébastien Dozias, et al.. Micro-discharge plasma using silicon platform. AVS 57th International Symposium & Exhibition, Oct 2010, Albuquerque, United States. ⟨hal-00707922⟩

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