Communication Dans Un Congrès
Année : 2010
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https://hal.science/hal-00696376
Soumis le : vendredi 11 mai 2012-15:28:04
Dernière modification le : mercredi 19 février 2025-10:57:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00696376 , version 1
Citer
Julien Ladroue, Mohamed Boufnichel, Thomas Tillocher, Philippe Lefaucheux, Pierre Ranson, et al.. Deep Gallium Nitride Etching. 63rd Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France. ⟨hal-00696376⟩
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