Réalisation d'une encapsulation faible température par film mince métallique pour les micro-commutateurs MEMS-RF - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Réalisation d'une encapsulation faible température par film mince métallique pour les micro-commutateurs MEMS-RF

Fabien Barrière
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 919451
Françoise Cosset
Annie Bessaudou
Arnaud Pothier
Aurelian Crunteanu
Pierre Blondy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 915831
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00686398 , version 1 (10-04-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00686398 , version 1

Citer

Fabien Barrière, Françoise Cosset, Annie Bessaudou, Arnaud Pothier, Aurelian Crunteanu, et al.. Réalisation d'une encapsulation faible température par film mince métallique pour les micro-commutateurs MEMS-RF. 17èmes Journées Nationales Microondes, JNM 2011, May 2011, Brest, France. Présentation orale - 8B-3 - Papier n°332. ⟨hal-00686398⟩

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