Conception de MEMS RF capacitifs fiables à faible tension d'actionnement
Jonathan Gauvin
(1)
,
Fabien Barrière
(1)
,
David Mardivirin
(1)
,
Arnaud Pothier
(1)
,
Aurelian Crunteanu
(1)
,
Pierre Blondy
(1)
,
Olivier Vendier
(2)
,
Jean-Louis Cazaux
(3)
Arnaud Pothier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7503
- IdHAL : arnaud-pothier
- ORCID : 0000-0001-8858-0545
- IdRef : 078012015
Aurelian Crunteanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 6267
- IdHAL : aurelian-crunteanu
- ORCID : 0000-0001-8648-5368
- IdRef : 070472173
Pierre Blondy
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1420287
- IdHAL : pierreblondy
- ORCID : 0000-0001-5439-5069