Propriétés diélectrique de couche mince de TiTaO
Ahlem Rouahi
(1, 2)
,
Abdelkader Kahouli
(1, 2)
,
Fatiha Challali
(3)
,
Marie-Paule Besland
(4)
,
Christophe Vallée
(5)
,
Sébastien Pairis
(6)
,
Béchir Yangui
(2)
,
S. Salimy
(4)
,
Antoine Goullet
(4)
,
Alain Sylvestre
(1)
1
G2ELab -
Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble
2 LABMOP - Laboratory for Materials, Organization and Properties
3 LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
4 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
5 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
6 NEEL - C2MA - Croissance Cristalline et MicroAnalyse
2 LABMOP - Laboratory for Materials, Organization and Properties
3 LSPM - Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
4 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
5 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
6 NEEL - C2MA - Croissance Cristalline et MicroAnalyse
Marie-Paule Besland
- Fonction : Auteur
- PersonId : 750463
- IdHAL : marie-paule-besland
- ORCID : 0000-0002-2680-2402
- IdRef : 135521890
Sébastien Pairis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747542
- IdHAL : sebastien-pairis
- ORCID : 0000-0002-9831-9305
Antoine Goullet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 759892
- ORCID : 0000-0001-5411-4351
- IdRef : 077635167