Fabrication et caractérisation électrique de résistances à base de nanofils de silicium
Résumé
Cet article présente des travaux pratiques sur la réalisation et la caractérisation électrique de résistances fabriquées à partir de nanofils de silicium polycristallin synthétisés à partir d'outils lithographiques conventionnels de la technologie silicium. Les résistances sont fabriquées en salle blanche puis caractérisées électriquement par mesures I-V.
| Origine | Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte |
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