Evaluation of plasma parameters on PEALD deposited TACN - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00669525 , version 1 (13-02-2012)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00669525 , version 1

Citer

F. Piallat, V. Beugin, R. Gassilloud, P. Michallon, L. Dussault, et al.. Evaluation of plasma parameters on PEALD deposited TACN. MAM 2012, Mar 2012, Grenoble, France. ⟨hal-00669525⟩
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