Fabrication de micro-résonateurs 2.5D sur organiques par combinaison de processus couches minces
Résumé
Les polymères tels que le SU8 (biphénol A d'éther glycidyle), le PS233 (polysilane) et le matériau SOG (siloxane Spin On Glass) peuvent être utilisés conjointement dans la fabrication par processus couches minces de micro-résonateurs (MR) photoniques 2.5D. Cependant, ces matériaux n'étant pas toujours compatibles entre eux, il a été nécessaire d'inclure et d'optimiser des traitements plasmas au sein des processus couches minces de manière à augmenter l'adhérence et à permettre un développement sélectif de multicouches organiques en structures de type MR 2.5D disques et anneaux.