Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00650057
Soumis le : vendredi 9 décembre 2011-12:50:31
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00650057 , version 1
Citer
J.H. Choi, L. Latu-Romain, F. Dhalluin, T. Chevolleau, B. Salem, et al.. Fabrication of SiC nanopillars by inductively coupled SF6/O2 plasma. HeteroSiC, Jun 2011, Tours, France. ⟨hal-00650057⟩
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