Au and alternatives metals for Si and SiGe NW catalyzed growth
T. Baron
(1)
,
A. Potié
(1)
,
L. Latu-Romain
(1)
,
B. Salem
(1)
,
M. Kogelschatz
(1)
,
G. Rosaz
(1, 2)
,
P. Gentile
(2)
,
F. Oehle
(2)
,
L. Montès
(3)
,
J. Kreisel
(4)
,
Hervé Roussel
(4)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
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- IdRef : 130661813
L. Latu-Romain
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21942
- IdHAL : laurence-latu-romain
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- IdRef : 117889814
B. Salem
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : bassem-salem
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P. Gentile
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : pascal-gentile
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J. Kreisel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 757246
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Hervé Roussel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738921
- IdHAL : herve-roussel
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