Direct top-down ordering of diblock copolymers trough nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2011

Direct top-down ordering of diblock copolymers trough nanoimprint lithography

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00647409

Soumis le : vendredi 2 décembre 2011-08:32:18

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:02:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00647409 , version 1 (02-12-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00647409 , version 1

Citer

M. Salaün, N. Kehagias, B. Salhi, T. Baron, J. Boussey, et al.. Direct top-down ordering of diblock copolymers trough nanoimprint lithography. Journal of Vacuum Science and Technology, 2011, B, 29, pp.06F208-1-06F208-5. ⟨hal-00647409⟩

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