Direct top-down ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Direct top-down ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00634129

Soumis le : jeudi 20 octobre 2011-13:12:49

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:47:57

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00634129 , version 1 (20-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00634129 , version 1

Citer

M. Salaün, N. Kehagias, B. Salhi, T. Baron, J. Boussey, et al.. Direct top-down ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography. Electron, Ion, and Photon Beam technology and Nanofabrication conference - EIPBN 2011, May 2011, Las Vegas (USA), United States. ⟨hal-00634129⟩

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