Direct patterning and ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Direct patterning and ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography

M. Salaün
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
N. Kehagias
  • Fonction : Auteur
M. Le Gallic
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C.M Sotomayor Torres
  • Fonction : Auteur
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00634124

Soumis le : jeudi 20 octobre 2011-13:05:02

Dernière modification le : lundi 16 décembre 2024-15:40:40

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00634124 , version 1 (20-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00634124 , version 1

Citer

M. Salaün, N. Kehagias, M. Le Gallic, C.M Sotomayor Torres, M. Zelsmann. Direct patterning and ordering of diblock copolymers through nanoimprint lithography. Micro- and Nano-Engineering conference- MNE 2011, Sep 2011, Berlin, Germany. ⟨hal-00634124⟩

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