Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask contamination and Haze - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask contamination and Haze

L. Dussault
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
B. Pelissier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
F. Dufaye
  • Fonction : Auteur
S. Gough
  • Fonction : Auteur
J. Hamonne
  • Fonction : Auteur
O. Chaix-Pluchery
  • Fonction : Auteur
P. Sergent
  • Fonction : Auteur
M. Tissier
  • Fonction : Auteur

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00629264

Soumis le : mercredi 5 octobre 2011-14:38:36

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:41:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00629264 , version 1 (05-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00629264 , version 1

Citer

L. Dussault, B. Pelissier, F. Dufaye, S. Gough, J. Hamonne, et al.. Investigation on full 6'' masks using innovative solutions for direct physico-chemical analyses of Mask contamination and Haze. EMLC 2011, 2011, Germany. ⟨hal-00629264⟩

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