" Caractérisation microondes et in-situ du Nitrure d'Aluminium (AlN) en configuration Métal/Isolant/Métal "
T. Bertaud
(1, 2)
,
E. Defay
(3)
,
C. Bermond
(2)
,
T. Lacrevaz
(2)
,
J. Abergel
,
B. Salem
(1)
,
B. Fléchet
(2)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
C. Bermond
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171824
- IdHAL : cedric-bermond
- ORCID : 0000-0003-1472-9081
- IdRef : 204250285
T. Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
J. Abergel
- Fonction : Auteur
B. Salem
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174867
- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625
B. Fléchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373