The perovskite SrTiO3 on Si/SiO2 by liquid injection MOCVD - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

The perovskite SrTiO3 on Si/SiO2 by liquid injection MOCVD

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00604265

Soumis le : mardi 28 juin 2011-15:25:28

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:45:42

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Dates et versions

hal-00604265 , version 1 (28-06-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00604265 , version 1

Citer

C. Dubourdieu, O. Salicio, S. Lhostis, L. Auvray, Y. Rozier, et al.. The perovskite SrTiO3 on Si/SiO2 by liquid injection MOCVD. ECS transactions, 2009, France. pp.669-684. ⟨hal-00604265⟩

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