Electrical Transport characterization of nano CMOS devices with ultra-thin silicon film.
G. Ghibaudo
(1)
,
M. Mouis
(1)
,
L. Pham-Nguyen
,
K. Bennamane
,
I. Pappas
,
A. Cros
(2)
,
G. Bidal
,
D. Fleury
(3)
,
Alain Claverie
(4)
,
Gérard Benassayag
,
Pier-Francesco Fazzini
,
C. Fenouillet-Beranger
(5)
,
S. Monfray
,
F. Boeuf
,
S. Cristoloveanu
(1)
,
T. Skotnicki
,
N. Collaert
(6)
1
IMEP-LAHC -
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 IDES - Interactions et dynamique des environnements de surface
3 INRETS/MA - Département Mécanismes d'Accidents
4 LCD - Laboratoire de combustion et de détonique
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 KI-NANO - Kavli Institute of Nanosciences [Delft]
2 IDES - Interactions et dynamique des environnements de surface
3 INRETS/MA - Département Mécanismes d'Accidents
4 LCD - Laboratoire de combustion et de détonique
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 KI-NANO - Kavli Institute of Nanosciences [Delft]
G. Ghibaudo
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170596
- IdHAL : gerard-ghibaudo
- ORCID : 0000-0001-9901-0679
- IdRef : 069253099
M. Mouis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170882
- IdHAL : mireille-mouis
- IdRef : 034043543
L. Pham-Nguyen
- Fonction : Auteur
K. Bennamane
- Fonction : Auteur
I. Pappas
- Fonction : Auteur
G. Bidal
- Fonction : Auteur
Alain Claverie
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173241
- IdHAL : alain-claverie
- ORCID : 0000-0003-2211-4618
- IdRef : 060160756
Pier-Francesco Fazzini
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170999
- IdHAL : pier-francesco-fazzini
- ORCID : 0000-0002-4307-6481
S. Monfray
- Fonction : Auteur
F. Boeuf
- Fonction : Auteur
S. Cristoloveanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172108
- IdHAL : sorin-cristoloveanu
- ORCID : 0000-0002-3576-5586
- IdRef : 030493188
T. Skotnicki
- Fonction : Auteur