Surface morphology and structure of ultra-thin magnesium oxide grown on (100) silicon by atomic layer deposition oxidation - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2011

Surface morphology and structure of ultra-thin magnesium oxide grown on (100) silicon by atomic layer deposition oxidation

N. Rochdi
  • Fonction : Auteur
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille
K. Liudvikouskaya
  • Fonction : Auteur
M. Descoins
  • Fonction : Auteur
Mahfoudh Raïssi
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 958152
C. Coudreau
  • Fonction : Auteur
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille
J.-L. Lazzari
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille
CV
H. Oughaddou
CV
F. Arnaud d'Avitaya
  • Fonction : Auteur
Centre Interdisciplinaire de Nanoscience de Marseille

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Soumis le : vendredi 24 juin 2011-15:18:38

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-08:39:59

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Dates et versions

hal-00603279 , version 1 (24-06-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00603279 , version 1

Citer

N. Rochdi, K. Liudvikouskaya, M. Descoins, Mahfoudh Raïssi, C. Coudreau, et al.. Surface morphology and structure of ultra-thin magnesium oxide grown on (100) silicon by atomic layer deposition oxidation. Thin Solid Films, 2011, 519 (19), pp.6302-6306. ⟨hal-00603279⟩

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