X-ray combined analysis of fiber-textured and epitaxial Ba(Sr,Ti)O3 thin films deposited by radio frequency sputtering - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2011

X-ray combined analysis of fiber-textured and epitaxial Ba(Sr,Ti)O3 thin films deposited by radio frequency sputtering

Denis Remiens
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
L. Yang
  • Fonction : Auteur
Freddy Ponchel
Jean-François Legier
D. Chateigner
  • Fonction : Auteur
Gang Wang
  • Fonction : Auteur
X. Dong
  • Fonction : Auteur

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Sciences de l'ingénieur [physics]
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Citer

Denis Remiens, L. Yang, Freddy Ponchel, Jean-François Legier, D. Chateigner, et al.. X-ray combined analysis of fiber-textured and epitaxial Ba(Sr,Ti)O3 thin films deposited by radio frequency sputtering. Journal of Applied Physics, 2011, 109, pp.114106-1-11. ⟨10.1063/1.3592282⟩. ⟨hal-00603029⟩

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