Wideband frequency and in-situ characterization of ultra thin ZrO2 and HfO2 films for integrated MIM capacitors
T. Bertaud
(1)
,
C. Bermond
,
T. Lacrevaz
,
Corentin Vallée
(2)
,
Y. Morand
(3)
,
B. Fléchet
,
A. Farcy
(4)
,
M. Gros-Jean
(5)
,
S. Blonkowski
(3)
C. Bermond
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171824
- IdHAL : cedric-bermond
- IdRef : 204250285
T. Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
B. Fléchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373