Vacuum UV emission spectroscopy of discharge excited by a RF helical coupling device in N2-Ar mixtures - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Vacuum UV emission spectroscopy of discharge excited by a RF helical coupling device in N2-Ar mixtures

P. Veis
  • Fonction : Auteur
C. Foissac
A. Annusova
  • Fonction : Auteur
J. Kristof
  • Fonction : Auteur
V. Martisovits
  • Fonction : Auteur
P. Supiot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV

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https://hal.science/hal-00579032

Soumis le : mercredi 23 mars 2011-08:05:02

Dernière modification le : mardi 26 mars 2024-15:24:15

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00579032 , version 1 (23-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00579032 , version 1

Citer

P. Veis, C. Foissac, A. Annusova, J. Kristof, V. Martisovits, et al.. Vacuum UV emission spectroscopy of discharge excited by a RF helical coupling device in N2-Ar mixtures. 63rd Annual Gaseous Electronics Conference and 7th International Conference on Reactive Plasmas, 2010, Paris, France. pp.DTP-125, 1-2. ⟨hal-00579032⟩

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