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Communication Dans Un Congrès Année : 2009

PZT films etched by focused Ga+ ion beam : study of ion damage

R. Liang
  • Fonction : Auteur
Caroline Soyer
David Troadec
D. Deresmes
X. Dong
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00575750 , version 1 (11-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00575750 , version 1

Citer

Denis Remiens, R. Liang, Caroline Soyer, David Troadec, D. Deresmes, et al.. PZT films etched by focused Ga+ ion beam : study of ion damage. European Materials Research Society Spring Meeting, E-MRS Spring 2009, Symposium H : Synthesis, Processing and Characterization of Nanoscale Multi Functional Oxide Films II, 2009, Strasbourg, France. ⟨hal-00575750⟩
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