MEMS-based multisensors platform with piezoelectric actuation and piezoresistive read-out capabilities for biosensing applications - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

MEMS-based multisensors platform with piezoelectric actuation and piezoresistive read-out capabilities for biosensing applications

Thomas Alava
  • Fonction : Auteur
Fabrice Mathieu
CV
Denis Remiens
Caroline Soyer
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Liviu Nicu

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https://hal.science/hal-00574487

Soumis le : mardi 8 mars 2011-10:52:56

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00574487 , version 1 (08-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00574487 , version 1

Citer

Thomas Alava, Fabrice Mathieu, Denis Remiens, Caroline Soyer, Liviu Nicu. MEMS-based multisensors platform with piezoelectric actuation and piezoresistive read-out capabilities for biosensing applications. Biosensors 2010, 2010, Glasgow, United Kingdom. ⟨hal-00574487⟩

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