Fabrication de surfaces superomniphobes sur silicium micro et nanostructuré - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Fabrication de surfaces superomniphobes sur silicium micro et nanostructuré

T.P.N. Nguyen
  • Fonction : Auteur
Yannick Coffinier
V. Thomy
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
CV
Rabah Boukherroub

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https://hal.science/hal-00573233

Soumis le : vendredi 4 mars 2011-08:24:59

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00573233 , version 1 (04-03-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00573233 , version 1

Citer

T.P.N. Nguyen, Yannick Coffinier, V. Thomy, Rabah Boukherroub. Fabrication de surfaces superomniphobes sur silicium micro et nanostructuré. 13èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique, JNRDM 2010, 2010, France. pp.CD-ROM, Session Matériaux 3, 1-4. ⟨hal-00573233⟩

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