Contour-mode ZnO piezoelectric MEMS resonator - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00568980 , version 1 (24-02-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00568980 , version 1

Citer

Tadeusz Gryba, Julien Carlier, X.Z. Zhao, S.S. Guo, S.X. Wang, et al.. Contour-mode ZnO piezoelectric MEMS resonator. 3rd International Conference on Advanced Manufacture, ICAM 2010, 2010, ", Taiwan. CDROM, session 4B, paper 012, 1-6. ⟨hal-00568980⟩
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