%0 Conference Paper %F Oral %T Propriétés diélectriques basse et haute fréquence de couches minces pérovskites oxynitrures LaTiOxNy déposées sur différents substrats %+ Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR) %+ Laboratoire d'Etude des Matériaux et des Composants pour l'Electronique (LEMCEL) %+ IMS-Bordeaux laboratory %+ Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR) %+ Institut des Sciences Chimiques de Rennes (ISCR) %+ Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS) %A Lu, Yu %A Ziani, Ahmed %A Fasquelle, Didier %A Kassem, Hussein %A Le Paven-Thivet, Claire %A Le Gendre, Laurent %A Benzerga, Ratiba %A Tessier, Franck %A Vigneras, Valerie %A Carru, Jean-Claude %A Sharaiha, Ala %< avec comité de lecture %B Journées Caractérisation Microondes Matériaux JCMM %C Brest, France %8 2010-03-31 %D 2010 %Z Chemical Sciences/Material chemistryConference papers %G French %L hal-00567669 %U https://hal.science/hal-00567669 %~ SUPELEC %~ UNIV-NANTES %~ UNIV-RENNES1 %~ CNRS %~ UNIV-LITTORAL %~ INSA-RENNES %~ ENSC-RENNES %~ IMS-BORDEAUX %~ IETR %~ ISCR %~ SCR_VC %~ SCR_CO %~ IETR_MF %~ SCR_CTI %~ SCR_OMC2012 %~ IMS-BORDEAUX-FUSION %~ UR1-SPM %~ INC-CNRS %~ UR1-UFR-SPM %~ UR1-HAL %~ UR1-MATH-STIC %~ UR1-SDLM %~ UR1-UFR-ISTIC %~ IETR-CUTE %~ IETR-FUNMAT %~ IVER %~ IETR-ADH %~ TEST-UNIV-RENNES %~ TEST-UR-CSS %~ UNIV-RENNES %~ INSA-GROUPE %~ UR1-MATH-NUM %~ UR1-MMS %~ UDSMM %~ IETR-STAR %~ NANTES-UNIVERSITE %~ UNIV-NANTES-AV2022