Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2010
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00549627
Soumis le : mercredi 22 décembre 2010-11:17:51
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
G. Guisbiers, E. Herth, Bernard Legrand, N. Rolland, T. Lasri, et al.. Materials selection procedure for RF-MEMS. Microelectronic Engineering, 2010, 87, pp.1792-1795. ⟨10.1016/j.mee.2009.10.016⟩. ⟨hal-00549627⟩
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