Materials selection procedure for RF-MEMS - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2010

Materials selection procedure for RF-MEMS

G. Guisbiers
  • Fonction : Auteur
E. Herth
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
N. Rolland
T. Lasri
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 751883
  • IdHAL : tuami-lasri

Dates et versions

hal-00549627 , version 1 (22-12-2010)

Identifiants

Citer

G. Guisbiers, E. Herth, Bernard Legrand, N. Rolland, T. Lasri, et al.. Materials selection procedure for RF-MEMS. Microelectronic Engineering, 2010, 87, pp.1792-1795. ⟨10.1016/j.mee.2009.10.016⟩. ⟨hal-00549627⟩
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