Laser generated guided waves and finite element modeling for the thickness gauging of thin layers - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Review of Scientific Instruments Année : 2010

Laser generated guided waves and finite element modeling for the thickness gauging of thin layers

F. Lefevre
  • Fonction : Auteur
Frédéric Jenot
Mohammadi Ouaftouh
CV
Marc Duquennoy
Mohamed Ourak
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00549540

Soumis le : mercredi 22 décembre 2010-10:43:29

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00549540 , version 1 (22-12-2010)

Identifiants

Citer

F. Lefevre, Frédéric Jenot, Mohammadi Ouaftouh, Marc Duquennoy, Mohamed Ourak. Laser generated guided waves and finite element modeling for the thickness gauging of thin layers. Review of Scientific Instruments, 2010, 81, pp.034901-1-5. ⟨10.1063/1.3317734⟩. ⟨hal-00549540⟩

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