Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2010
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https://hal.science/hal-00549532
Soumis le : mercredi 22 décembre 2010-10:37:33
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00549532 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/20/7/075014
Citer
Thomas Alava, Fabrice Mathieu, L. Mazenq, Caroline Soyer, Denis Remiens, et al.. Silicon-based micromembranes with piezoelectric actuation and piezoresistive detection for sensing purposes in liquid media. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 20, pp.075014-1-8. ⟨10.1088/0960-1317/20/7/075014⟩. ⟨hal-00549532⟩
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