Article Dans Une Revue
Journal of Micromechanics and Microengineering
Année : 2010
Collection IEMN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00549518
Soumis le : mercredi 22 décembre 2010-10:22:03
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00549518 , version 1
- DOI : 10.1088/0960-1317/20/2/025005
Citer
X.Q. Bao, Thomas Dargent, Eric Cattan. Micromachining SU-8 pivot structures using AZ photoresist as direct sacrificial layers for a large wing displacement. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 20, pp.025005-1-13. ⟨10.1088/0960-1317/20/2/025005⟩. ⟨hal-00549518⟩
Collections
25
Consultations
0
Téléchargements