Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020 - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2010

Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020

E. Herth
  • Fonction : Auteur
P. Tilmant
M. Faucher
M. François
  • Fonction : Auteur
Christophe Boyaval
Francois Vaurette
Y. Deblock
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand

Dates et versions

hal-00548989 , version 1 (21-12-2010)

Identifiants

Citer

E. Herth, P. Tilmant, M. Faucher, M. François, Christophe Boyaval, et al.. Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020. Microelectronic Engineering, 2010, 87, pp.2057-2060. ⟨10.1016/j.mee.2009.12.079⟩. ⟨hal-00548989⟩
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