Electron beam nanolithography in AZnLOF 2020
E. Herth
,
P. Tilmant
,
M. Faucher
,
M. François
,
Christophe Boyaval
,
Francois Vaurette
,
Y. Deblock
,
Bernard Legrand
,
L. Buchaillot
(1)
E. Herth
- Fonction : Auteur
P. Tilmant
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745469
- IdHAL : pascal-tilmant
M. Faucher
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180403
- IdHAL : marc-faucher
- ORCID : 0000-0003-0206-9813
- IdRef : 086294679
M. François
- Fonction : Auteur
Christophe Boyaval
- Fonction : Auteur
- PersonId : 747971
- IdHAL : christophe-boyaval
Francois Vaurette
- Fonction : Auteur
- PersonId : 743128
- IdHAL : francois-vaurette
- ORCID : 0000-0002-6850-0242
- IdRef : 123805848
Y. Deblock
- Fonction : Auteur
Bernard Legrand
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4144
- IdHAL : bernard-legrand
- ORCID : 0000-0001-5158-3654
- IdRef : 137439423
L. Buchaillot
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180198
- IdHAL : lionel-buchaillot
- ORCID : 0000-0002-9844-0498
- IdRef : 060779136