Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue IEEE Electron Device Letters Année : 2010

Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology

M. Sworowski
  • Fonction : Auteur
F. Neuilly
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
A. Summanwar
  • Fonction : Auteur
P. Philippe
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

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https://hal.science/hal-00548984

Soumis le : mardi 21 décembre 2010-09:51:45

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00548984 , version 1 (21-12-2010)

Identifiants

Citer

M. Sworowski, F. Neuilly, Bernard Legrand, A. Summanwar, P. Philippe, et al.. Fabrication of 24-MHz-disk resonators with silicon passive integration technology. IEEE Electron Device Letters, 2010, 31, pp.23-25. ⟨10.1109/LED.2009.2034542⟩. ⟨hal-00548984⟩

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