Development of Composite Single Crystal Wafers for Sources and Sensor applications exploiting High-overtone Bulk Acoustic Resonators

T. Baron; E. Lebrasseur; D. Hermelin; D. Gachon; S. Alzuaga; G. Martin; D. Rabus; B. Guichardaz; V. Pétrini; S. Queste; R. Salut; S. Ballandras

Conference Papers Year : 2010

Development of Composite Single Crystal Wafers for Sources and Sensor applications exploiting High-overtone Bulk Acoustic Resonators

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T. Baron

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Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)

E. Lebrasseur

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D. Hermelin

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D. Gachon

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S. Alzuaga

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G. Martin

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PersonId : 5014
IdHAL : giurfa-martin
ORCID : 0000-0001-7173-769X
IdRef : 098130129

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D. Rabus

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B. Guichardaz

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PersonId : 749802
IdHAL : blandine-guichardaz

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V. Pétrini

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S. Queste

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R. Salut

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S. Ballandras

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PersonId : 939660

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Optics / Photonic

Sarah Djaouti : Connect in order to contact the contributor

https://hal.science/hal-00534061

Submitted on : Monday, November 8, 2010-5:02:03 PM

Last modification on : Friday, October 18, 2024-9:45:59 AM

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hal-00534061 , version 1 (08-11-2010)

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HAL Id : hal-00534061 , version 1

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T. Baron, E. Lebrasseur, D. Hermelin, D. Gachon, S. Alzuaga, et al.. Development of Composite Single Crystal Wafers for Sources and Sensor applications exploiting High-overtone Bulk Acoustic Resonators. JNTE 2010, Nov 2010, Palaiseau, France. ⟨hal-00534061⟩

Development of Composite Single Crystal Wafers for Sources and Sensor applications exploiting High-overtone Bulk Acoustic Resonators

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