New thick-film process based on screen-printing deposition for free-standing piezoelectric microsystems - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

New thick-film process based on screen-printing deposition for free-standing piezoelectric microsystems

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00527017 , version 1 (17-10-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00527017 , version 1

Citer

Claude Lucat, Hélène Debéda, Christophe Castille, Riadh Lakhmi, Isabelle Dufour. New thick-film process based on screen-printing deposition for free-standing piezoelectric microsystems. Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en Micronanofabrication 2010, 2010, Palaiseau, France. 2 p. ⟨hal-00527017⟩
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