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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Roughness influence on periodic gratings and application to optical metrology of roughness

Alexandre Vauselle
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 863587
Laurent Arnaud
Gaelle Georges
Claude Amra
Carole Deumie
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 834007
P. Maillot
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00524438 , version 1 (07-10-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00524438 , version 1

Citer

Alexandre Vauselle, Laurent Arnaud, Gaelle Georges, Claude Amra, Carole Deumie, et al.. Roughness influence on periodic gratings and application to optical metrology of roughness. Reflection, Scattering, and Diffraction from Surfaces II, 2010, United States. pp.77920W-77920W-8. ⟨hal-00524438⟩
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