Guides canaux en silicium poreux dopé Erbium : propriétés optiques
Résumé
Des guides optiques de type canal en silicium poreux et dopés erbium ont été élaborés. Les analyses EDX réalisés sur la tranche ont montré une incorporation homogène d'erbium en concentration de l'ordre de 10^19 at/cm3. Les indices de réfraction ont été déterminés pour les guides dopés et non dopés. L'activation de ces ions Er3+ et leur luminescence ont été démontrées par photoluminescence (PL) à la température ambiante. Les pertes optiques dans ces guides dopés sont de l'ordre de 4 dB/cm. Leurs origines sont discutées.