CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge

J.P Booth
CV
H. Abada
  • Fonction : Auteur
P. Chabert
CV
G. Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00494528

Soumis le : mercredi 23 juin 2010-14:46:41

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00494528 , version 1 (23-06-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00494528 , version 1

Citer

J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge. CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge. 48th National AVS symposium & Topical conferences, 2001, San Francisco, United States. ⟨hal-00494528⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM PLASMA_ETCHING
41 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More