EFFECTS OF NITROGEN INCORPORATION IN LANTHANUM-BASED DIELECTRIC FILMS - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Integrated Ferroelectrics Année : 2008

EFFECTS OF NITROGEN INCORPORATION IN LANTHANUM-BASED DIELECTRIC FILMS

V. Edon
  • Fonction : Auteur
M.C. Hugon
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de physique des gaz et des plasmas
B. Agius
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de physique des gaz et des plasmas
K.P. Bastos
  • Fonction : Auteur
L. Miotti
  • Fonction : Auteur
C. Driemeier
  • Fonction : Auteur
L. Salvador
C. Krug
  • Fonction : Auteur
R. Baumvol I. J.
  • Fonction : Auteur
C. Eypert
  • Fonction : Auteur
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https://hal.science/hal-00492043

Soumis le : lundi 14 juin 2010-22:53:53

Dernière modification le : lundi 16 septembre 2024-17:52:04

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Dates et versions

hal-00492043 , version 1 (14-06-2010)

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Citer

V. Edon, M.C. Hugon, B. Agius, K.P. Bastos, L. Miotti, et al.. EFFECTS OF NITROGEN INCORPORATION IN LANTHANUM-BASED DIELECTRIC FILMS. Integrated Ferroelectrics, 2008, pp.129. ⟨10.1080/10584580802088991⟩. ⟨hal-00492043⟩

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