Chlorine Inductively- coupled Plasma diagnostics using UV absorption spectroscopy and an ion flux probE - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

Chlorine Inductively- coupled Plasma diagnostics using UV absorption spectroscopy and an ion flux probE

J.P Booth
CV
F. Neuilly
  • Fonction : Auteur
J.M Francou
  • Fonction : Auteur
L. Vallier
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00486185

Soumis le : mardi 25 mai 2010-11:47:47

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:04:37

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00486185 , version 1 (25-05-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00486185 , version 1

Citer

J.P Booth, F. Neuilly, J.M Francou, L. Vallier. Chlorine Inductively- coupled Plasma diagnostics using UV absorption spectroscopy and an ion flux probE. International Colloquium on Plasma Processes, CIP, 2001, Antibes, France. ⟨hal-00486185⟩

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