High-Q and low-RM 24-MHz radial-contour mode disk resonators fabricated with silicon passive integration technology - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

High-Q and low-RM 24-MHz radial-contour mode disk resonators fabricated with silicon passive integration technology

M. Sworowski
  • Fonction : Auteur
F. Neuilly
  • Fonction : Auteur
Bernard Legrand
CV
A. Summanwar
  • Fonction : Auteur
F. Lallemand
  • Fonction : Auteur
P. Philippe
  • Fonction : Auteur
L. Buchaillot
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
Nano and Microsystems - IEMN

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

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https://hal.science/hal-00474452

Soumis le : mardi 20 avril 2010-10:22:32

Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00474452 , version 1 (20-04-2010)

Identifiants

Citer

M. Sworowski, F. Neuilly, Bernard Legrand, A. Summanwar, F. Lallemand, et al.. High-Q and low-RM 24-MHz radial-contour mode disk resonators fabricated with silicon passive integration technology. 15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009, 2009, USA, United States. pp.2114-2117, ⟨10.1109/SENSOR.2009.5285623⟩. ⟨hal-00474452⟩

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