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Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Thermoelastic FEM-BEM model for MEMS resonator simulation

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00474450 , version 1 (20-04-2010)

Identifiants

Citer

D. Ekeom, L. Buchaillot. Thermoelastic FEM-BEM model for MEMS resonator simulation. 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009, 2009, Italy. pp.923-926, ⟨10.1109/MEMSYS.2009.4805535⟩. ⟨hal-00474450⟩
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