Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
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https://hal.science/hal-00474450
Soumis le : mardi 20 avril 2010-10:22:15
Dernière modification le : mercredi 24 janvier 2024-09:54:18
Citer
D. Ekeom, L. Buchaillot. Thermoelastic FEM-BEM model for MEMS resonator simulation. 22nd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2009, 2009, Italy. pp.923-926, ⟨10.1109/MEMSYS.2009.4805535⟩. ⟨hal-00474450⟩
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