Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00461607
Soumis le : vendredi 5 mars 2010-10:16:18
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00461607 , version 1
Citer
A. Lagha, L. Broussous, D. Pepper, C. Maurice, N. Cabuil, et al.. Comprehensive study of metal-fluoride crystals issues with trench first hard mask back end architecture. Surface Preparation and Cleaning Conference, 2007, United States. ⟨hal-00461607⟩
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