Laser and LED based optical diagnostic techniques applied in industrial plasma etch reactors - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Laser and LED based optical diagnostic techniques applied in industrial plasma etch reactors

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00461002

Soumis le : mercredi 3 mars 2010-10:34:21

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:53:42

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00461002 , version 1 (03-03-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00461002 , version 1

Citer

N. Sadeghi, G. Cunge, D. Vempaire, M. Touzeau, R. Ramos, et al.. Laser and LED based optical diagnostic techniques applied in industrial plasma etch reactors. 56th International AVS Symposium & Topical Conferences, 2009, San Jose, United States. ⟨hal-00461002⟩

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