Article Dans Une Revue
Journal of Non-Crystalline Solids
Année : 2001
Enrique Garcia Caurel : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00458760
Soumis le : lundi 22 février 2010-11:37:41
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00458760 , version 1
Citer
Enric Garcia-Caurel, Chisato Niikura, S.Y. Kim, Bernard Drevillon, Jean-Eric Bourée. FTIR phase-modulated ellipsometry measurements of microcrystalline silicon films deposited by hot-wire CVD. Journal of Non-Crystalline Solids, 2001, 299-302, pp.215. ⟨hal-00458760⟩
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