Grain growth in Damascene interconnects - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering Année : 2009

Grain growth in Damascene interconnects

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00457466 , version 1 (17-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00457466 , version 1

Citer

D. Weygand, M. Verdier, J. Lepinoux. Grain growth in Damascene interconnects. Modelling and Simulation in Materials Science and Engineering, 2009, 17 (6). ⟨hal-00457466⟩

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