Direct measurements of the energy transfers in deposition or etching low pressure plasma processes
Anne-Lise Thomann
(1)
,
Rémi Dussart
(1)
,
Nadjib Semmar
(1)
,
Larbi Bedra
(1)
,
Jacky Mathias
(1)
,
Yves Tessier
(1)
,
Laurianne E. Pichon
(1)
,
Stéphane Mazouffre
(2)
Rémi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart
Nadjib Semmar
- Fonction : Auteur
- PersonId : 742664
- IdHAL : nasem
- ORCID : 0000-0002-4218-0156
- IdRef : 154967521
Stéphane Mazouffre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 176790
- IdHAL : stephane-mazouffre
- ORCID : 0000-0002-8281-5128
- IdRef : 127209999