Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00444241
Soumis le : mercredi 6 janvier 2010-11:23:29
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:52
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00444241 , version 1
Citer
Laurianne E. Pichon, Corinne Y. Duluard, Thomas Tillocher, Remi Dussart, Philippe Lefaucheux, et al.. SiOxFy film growth in SiF4/O2 plasma at cryogenic temperature. 18th International Symposium on Plasma Chemistry, Aug 2007, Kyoto, Japan. pp.30P-105. ⟨hal-00444241⟩
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