SiOxFy film growth in SiF4/O2 plasma at cryogenic temperature
Laurianne E. Pichon
(1)
,
Corinne Y. Duluard
(1)
,
Thomas Tillocher
(1)
,
Remi Dussart
(1)
,
Philippe Lefaucheux
(1)
,
Pierre Ranson
(1)
,
Mohamed Boufnichel
(2)
Laurianne E. Pichon
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Corinne Y. Duluard
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Thomas Tillocher
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Remi Dussart
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