Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Remi Dussart : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00444208
Soumis le : mercredi 6 janvier 2010-10:54:40
Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:26:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00444208 , version 1
Citer
Corinne Y. Duluard, Remi Dussart, Laurianne E. Pichon, Philippe Lefaucheux, Michel Puech, et al.. A study on SF6/SiCl4 inductively coupled plasma by mass spectrometry and optical emission spectroscopy. 16th International Colloquium on Plasma Processes, Jun 2007, France. ⟨hal-00444208⟩
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