Impact of chamber walls on radicals densities in Cl2 ICP plasmas - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Impact of chamber walls on radicals densities in Cl2 ICP plasmas

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00400475

Soumis le : mardi 30 juin 2009-18:54:25

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:39:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00400475 , version 1 (30-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00400475 , version 1

Citer

G. Cunge, N. Sadeghi, R. Ramos, O. R. Joubert. Impact of chamber walls on radicals densities in Cl2 ICP plasmas. 53rd International AVS Symposium & Topical Conferences, 2006, san francisco, United States. ⟨hal-00400475⟩

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