Caractérisation microondes de la permittivité du SiOCH poreux pour la génération CMOS 32 nm
B. Blampey
(1)
,
M. Gallitre
(1)
,
A. Farcy
,
T. Lacrevaz
,
S. de Rivaz
,
C. Bermond
(1)
,
B. Fléchet
(1)
,
V. Jousseaume
(2)
,
A. Zenasni
(2)
,
P. Ancey
A. Farcy
- Fonction : Auteur
T. Lacrevaz
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172496
- IdHAL : thierry-lacrevaz
- ORCID : 0000-0002-6741-3497
- IdRef : 10293908X
S. de Rivaz
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C. Bermond
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- IdHAL : cedric-bermond
- ORCID : 0000-0003-1472-9081
- IdRef : 204250285
B. Fléchet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172505
- IdHAL : bernard-flechet
- IdRef : 102939373
P. Ancey
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