Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Caractérisation microondes de la permittivité du SiOCH poreux pour la génération CMOS 32 nm

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00399929 , version 1 (29-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00399929 , version 1

Citer

B. Blampey, M. Gallitre, A. Farcy, T. Lacrevaz, S. de Rivaz, et al.. Caractérisation microondes de la permittivité du SiOCH poreux pour la génération CMOS 32 nm. 16èmes Journées Nationales Microondes, May 2009, Grenoble, France. ⟨hal-00399929⟩
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